# Präzisionsdaten

## Positioniergenauigkeit

| Messsystem             | Wiederholgenauigkeit Bidirektional \[µm] |
| ---------------------- | ---------------------------------------- |
| 1µm magnetisch absolut | < ± 2.0                                  |
| 1µm optisch absolut    | < ± 1.5                                  |
| 100nm optisch absolut  | < ± 0.5                                  |

| Messsystem             | Längenausdehnung Massstab \[µm/m/°C] |
| ---------------------- | ------------------------------------ |
| 1µm magnetisch absolut | 11.0                                 |
| 1µm optisch absolut    | 10.6                                 |
| 100nm optisch absolut  | 10.6                                 |

***

## Position Mapping im XENAX® Xvi 75V8S

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<figure><img src="https://raw.githubusercontent.com/JennyScience-AG/tech-images/main/LINAX_Lxs_PositionMappping.png" alt=""><figcaption></figcaption></figure>

<sub>*Measurement system 1µm optical, measurement point 150mm above the scale.*</sub>
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{% column %}
Mit dem Interferometer werden die Positionsfehler über den gesamten Hub tabellarisch erfasst. Anschließend wird die Position-Mapping-Tabelle im XENAX® Xvi Servocontroller hinterlegt. Während des Betriebs korrigiert der Controller die Positionen in Echtzeit gemäß dieser Tabelle; Zwischenpositionen werden dabei interpoliert.

Die Korrektur erfolgt auch bei der Ansteuerung über einen Echtzeitbus, wodurch eine nochmals höhere Absolutgenauigkeit erreicht wird.

**- Grau**, Positionsfehler, gemessen am relevanten Punkt des Aufbaus, Messsystem 1µm Auflösung optisch.

<mark style="color:yellow;">**- Gelb**</mark><mark style="color:yellow;">, Positionsfehler am gleichen Messpunkt nach Korrektur durch Nutzung der Position-Mapping-Funktion</mark>.
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{% endcolumns %}

***

## Mechanische **Genauigkeit**

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{% column %}

{% endcolumn %}

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Bei den LINAX® Lxs F120 Linearmotor-Achsen kommen robuste 4-reihige Kugelumlauf-Führungen zum Einsatz.
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<figure><img src="https://raw.githubusercontent.com/JennyScience-AG/tech-images/main/LINAX_LxsF120_Mechanischegenauigkeit.png" alt=""><figcaption></figcaption></figure>

Die LINAX® Lxs Linearmotor-Achsen werden standardmässig mit folgenden Toleranzen geliefert.

<table><thead><tr><th width="136" valign="top">LINAX®</th><th align="right" valign="top">Ablaufgenauigkeit horizontal EYX [µm]</th><th align="right" valign="top">Ablaufgenauigkeit vertikal EZX [µm]</th><th align="right" valign="top">Kippfehler QX (Rollen) [ws]</th><th align="right" valign="top">Kippfehler QY (Nicken) [ws]</th><th align="right" valign="top">Kippfehler QZ (Gieren) [ws]</th><th align="right" valign="top">Toleranz Bauhöhe [mm]</th></tr></thead><tbody><tr><td valign="top">Lxs 80F120</td><td align="right" valign="top">±4</td><td align="right" valign="top">±2</td><td align="right" valign="top">±4</td><td align="right" valign="top">±10</td><td align="right" valign="top">±5</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 200F120</td><td align="right" valign="top">±5</td><td align="right" valign="top">±3</td><td align="right" valign="top">±5</td><td align="right" valign="top">±15</td><td align="right" valign="top">±10</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 400F120</td><td align="right" valign="top">±10</td><td align="right" valign="top">±4</td><td align="right" valign="top">±15</td><td align="right" valign="top">±30</td><td align="right" valign="top">±15</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 520F120</td><td align="right" valign="top">±10</td><td align="right" valign="top">±4</td><td align="right" valign="top">±20</td><td align="right" valign="top">±30</td><td align="right" valign="top">±20</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 600F120</td><td align="right" valign="top">±10</td><td align="right" valign="top">±5</td><td align="right" valign="top">±20</td><td align="right" valign="top">±30</td><td align="right" valign="top">±20</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 800F120</td><td align="right" valign="top">±10</td><td align="right" valign="top">±7</td><td align="right" valign="top">±25</td><td align="right" valign="top">±35</td><td align="right" valign="top">±25</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 1000F120</td><td align="right" valign="top">±12</td><td align="right" valign="top">±8</td><td align="right" valign="top">±30</td><td align="right" valign="top">±35</td><td align="right" valign="top">±25</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 1200F120</td><td align="right" valign="top">±13</td><td align="right" valign="top">±9</td><td align="right" valign="top">±30</td><td align="right" valign="top">±35</td><td align="right" valign="top">±25</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 1600F120</td><td align="right" valign="top">±16</td><td align="right" valign="top">±12</td><td align="right" valign="top">±35</td><td align="right" valign="top">±40</td><td align="right" valign="top">±30</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 2000F120</td><td align="right" valign="top">±18</td><td align="right" valign="top">±14</td><td align="right" valign="top">±40</td><td align="right" valign="top">±45</td><td align="right" valign="top">±35</td><td align="right" valign="top">±0,1</td></tr></tbody></table>

Werte für unbelastete Einzelachsen, gemessen auf einer ebenen Granitfläche.

Die Ablaufgenauigkeitswerte entsprechen der Bewegung des Schlittens, gemessen in der Mitte des Schlittens (X/Y) sowie auf der Oberfläche des Schlittens.

Die Kippfehler entsprechen der Mittelposition des Führungssystems:

* Mitte des Schlittens (X/Y)
* 20.9mm unterhalb der Schlittenoberfläche (Z) bei LINAX Lxs F120.

***

## Messresultat aus Serienproduktion

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<h4 align="right"></h4>
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{% column %}

#### Positionsgenauigkeit

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{% column %}

<figure><img src="https://raw.githubusercontent.com/JennyScience-AG/tech-images/main/LINAX_LxsF120_Posisionsgenauigkeit.png" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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{% column %}

<table data-header-hidden><thead><tr><th width="197.5555419921875"></th><th width="179.1112060546875"></th></tr></thead><tbody><tr><td>Messystem</td><td>1µm optisch</td></tr><tr><td>Absolutgenauigkeit</td><td>± 2.9 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit vorwärts</td><td>0.6 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit rückwärts</td><td>0.7 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit bi-direktional</td><td>1.2 µm</td></tr></tbody></table>
{% endcolumn %}
{% endcolumns %}

Positionsgenauigkeit gemessen 50mm oberhalb (Z) des Massstabs

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<h4 align="right"></h4>
{% endcolumn %}

{% column %}

#### Kippfehler

{% endcolumn %}
{% endcolumns %}

{% columns %}
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<figure><img src="https://raw.githubusercontent.com/JennyScience-AG/tech-images/main/LINAX_LxsF120_Kippfehler.png" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
{% endcolumn %}

{% column %}

<table data-header-hidden><thead><tr><th width="202.888916015625">Kippfehler</th><th width="166.888916015625">Wert</th></tr></thead><tbody><tr><td>QX Rollen</td><td>± 2.4ws</td></tr><tr><td>QY Nicken</td><td>± 13.3ws</td></tr><tr><td>QZ Gieren</td><td>± 11.1ws</td></tr></tbody></table>
{% endcolumn %}
{% endcolumns %}


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