# Präzisionsdaten

## Positioniergenauigkeit

| Messsystem    | Wiederholgenauigkeit Bidirektional \[µm] |
| ------------- | ---------------------------------------- |
| 1µm optisch   | < ± 1.5                                  |
| 100nm optisch | < ± 0.4                                  |

| Messsystem    | Längenausdehnung Massstab \[µm/m/°C] |
| ------------- | ------------------------------------ |
| 1µm optisch   | 8.5                                  |
| 100nm optisch | 8.5                                  |

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## Position Mapping im XENAX® Xvi 75V8S

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{% endcolumn %}

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Mit dem Interferometer werden die Positionsfehler über den gesamten Hub tabellarisch erfasst. Anschließend wird die Position-Mapping-Tabelle im XENAX® Xvi Servocontroller hinterlegt. Während des Betriebs korrigiert der Controller die Positionen in Echtzeit gemäß dieser Tabelle; Zwischenpositionen werden dabei interpoliert.

Die Korrektur erfolgt auch bei der Ansteuerung über einen Echtzeitbus, wodurch eine nochmals höhere Absolutgenauigkeit erreicht wird.

**- Grau**, Positionsfehler, gemessen am relevanten Punkt des Aufbaus, Messsystem 1µm Auflösung optisch.

<mark style="color:yellow;">**- Gelb**</mark><mark style="color:yellow;">, Positionsfehler am gleichen Messpunkt nach Korrektur durch Nutzung der Position-Mapping-Funktion</mark>.
{% endcolumn %}
{% endcolumns %}

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## Mechanische **Genauigkeit**

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{% column %}

<figure><img src="/files/5Tk7T18ar51cg09bEom9" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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Bei den LINAX® Lxc Linearmotor-Achsen kommen Kreuzrollenlager mit Hartmetallführungsstäben zum Einsatz. Die Kreuzrollen sind in Käfigen zusammengefasst und standardmässig mit Zwangszentrierung ausgerüstet. Diese Konstruktion ist extrem robust und zuverlässig (>350Mio Zyklen bei F08/F10). Die LINAX® Lxc Linearmotor-Achsen mit schwarzem Schlitten werden standardmässig mit folgenden Toleranzen geliefert. Die Angaben basieren auf unbelastetem Zustand.
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Die LINAX® Lxs Linearmotor-Achsen werden standardmässig mit folgenden Toleranzen geliefert.

| LINAX Lxc F08/F10 | Ablaufgenauigkeit horizontal EYX \[µm] | Ablaufgenauigkeit vertikal EZX \[µm] | Kippfehler QX (Rollen) \[ws] | Kippfehler QY (Nicken) \[ws] | Kippfehler QZ (Gieren) \[ws] | Toleranz Bauhöhe \[mm] |
| ----------------- | -------------------------------------- | -----------------------------------: | ---------------------------: | ---------------------------: | ---------------------------: | ---------------------: |
| Lxc 44F08         | ±5                                     |                                   ±5 |                          ±15 |                          ±30 |                          ±20 |                   ±0,1 |
| Lxc 85F10         | ±7                                     |                                   ±7 |                          ±20 |                          ±35 |                          ±25 |                   ±0,1 |
| Lxc 135F10        | ±10                                    |                                  ±10 |                          ±20 |                          ±40 |                          ±30 |                   ±0,1 |
| Lxc 230F10        | ±12                                    |                                  ±12 |                          ±20 |                          ±50 |                          ±35 |                   ±0,1 |
| Lxc 80F40         | ±8                                     |                                   ±8 |                          ±20 |                          ±30 |                          ±30 |                   ±0,1 |
| Lxc 176F40        | ±10                                    |                                  ±10 |                          ±20 |                          ±35 |                          ±35 |                   ±0,1 |
| Lxc 272F40        | ±12                                    |                                  ±12 |                          ±20 |                          ±40 |                          ±40 |                   ±0,1 |

Werte für unbelastete Einzelachsen, gemessen auf einer ebenen Granitfläche.

Die Ablaufgenauigkeitswerte entsprechen der Bewegung des Schlittens, gemessen in der Mitte des Schlittens (X/Y) sowie auf der Oberfläche des Schlittens.

Die Kippfehler entsprechen der Mittelposition des Führungssystems:

* Mitte des Schlittens (X/Y)
* 5.4mm unterhalb der Schlittenoberfläche (Z) bei LINAX Lxc F08/F10
* 6.35mm unterhalb der Schlittenoberfläche (Z) bei LINAX Lxc F40

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## Messresultat aus Serienproduktion

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<h4 align="right"></h4>
{% endcolumn %}

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#### Positionsgenauigkeit

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{% column %}

<figure><img src="https://raw.githubusercontent.com/JennyScience-AG/tech-images/main/LINAX_Lxc_Positionsgenauigkeit.png" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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{% column %}

<table data-header-hidden><thead><tr><th width="280.2828369140625"></th><th width="179.1112060546875"></th></tr></thead><tbody><tr><td>Messystem</td><td>1µm optisch</td></tr><tr><td>Absolutgenauigkeit</td><td>± 2.5 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit vorwärts</td><td>0.8 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit rückwärts</td><td>1.0 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit bi-direktional</td><td>1.3 µm</td></tr></tbody></table>
{% endcolumn %}
{% endcolumns %}

Positionsgenauigkeit gemessen 25mm über dem Messsystem.

{% columns %}
{% column %}

<h4 align="right"></h4>
{% endcolumn %}

{% column %}

#### Kippfehler

{% endcolumn %}
{% endcolumns %}

{% columns %}
{% column %}

<figure><img src="https://raw.githubusercontent.com/JennyScience-AG/tech-images/main/LINAX_Lxc_Kippfehler.png" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
{% endcolumn %}

{% column %}

<table data-header-hidden><thead><tr><th width="199"></th><th></th></tr></thead><tbody><tr><td>QX Rollen</td><td>± 9.5 ws</td></tr><tr><td>QY Nicken</td><td>± 10.3 ws</td></tr><tr><td>QZ Gieren</td><td>± 9 ws</td></tr></tbody></table>
{% endcolumn %}
{% endcolumns %}


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