# Präzisionsdaten

{% columns %}
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### Positioniergenauigkeit

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| Messsystem             | Wiederholgenauigkeit Bidirektional |
| ---------------------- | ---------------------------------- |
| 1µm magnetisch absolut | < ± 2.0µm                          |
| 1µm optisch absolut    | < ± 1.5µm                          |
| 100nm optisch absolut  | < ± 0.5µm                          |

| Messsystem             | Längenausdehnung Massstab |
| ---------------------- | ------------------------- |
| 1µm magnetisch absolut | 11.0µm/m/°C               |
| 1µm optisch absolut    | 10.6µm/m/°C               |
| 100nm optisch absolut  | 10.6µm/m/°C               |

***

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### Position Mapping im XENAX® Xvi 75V8S

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<figure><img src="/files/iIYNBCodjPxIO0Z2cXrz" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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Mit dem Interferometer werden die Positionsfehler über den gesamten Hub tabellarisch erfasst. Anschließend wird die Position-Mapping-Tabelle im XENAX® Xvi Servocontroller hinterlegt. Während des Betriebs korrigiert der Controller die Positionen in Echtzeit gemäß dieser Tabelle; Zwischenpositionen werden dabei interpoliert.

Die Korrektur erfolgt auch bei der Ansteuerung über einen Echtzeitbus, wodurch eine nochmals höhere Absolutgenauigkeit erreicht wird.

**- Grau**, Positionsfehler, gemessen am relevanten Punkt des Aufbaus, Messsystem 1µm Auflösung optisch.

<mark style="color:yellow;">**- Gelb**</mark><mark style="color:yellow;">, Positionsfehler am gleichen Messpunkt nach Korrektur durch Nutzung der Position-Mapping-Funktion</mark>.
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### Mechanische Fehler der Schlittenführung

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<figure><img src="/files/q6vKA5JkRGhpPjsQ9NCP" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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Bei den LINAX® Lxu Linearmotor-Achsen kommen Kugelumlauf-Führungen zum Einsatz. Diese Führungen sind wartungsfrei bis 20‘000km oder 5 Jahre.

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Die LINAX® Lxu Linearmotor-Achsen werden standardmässig mit folgenden Toleranzen geliefert.

| Lxu F60S    | Ablaufgenauigkeit horizontal EYX \[µm] | Ablaufgenauigkeit vertikal EZX \[µm] | Kippfehler QX (Rollen) \[ws] | Kippfehler QY (Nicken) \[ws] | Kippfehler QZ (Gieren) \[ws] | Toleranz Bauhöhe \[mm] |
| ----------- | -------------------------------------- | ------------------------------------ | ---------------------------- | ---------------------------- | ---------------------------- | ---------------------- |
| Lxu 40F60S  | ± 5                                    | ± 4                                  | ± 8                          | ± 10                         | ± 15                         | ± 0.1                  |
| Lxu 80F60S  | ± 5                                    | ± 4                                  | ± 8                          | ± 10                         | ± 20                         | ± 0.1                  |
| Lxu 160F60S | ± 8                                    | ± 5                                  | ± 10                         | ± 20                         | ± 25                         | ± 0.1                  |
| Lxu 240F60S | ± 10                                   | ± 5                                  | ± 10                         | ± 20                         | ± 30                         | ± 0.1                  |
| Lxu 320F60S | ± 12                                   | ± 6                                  | ± 10                         | ± 20                         | ± 35                         | ± 0.1                  |

Werte für unbelastete Einzelachsen, gemessen auf einer ebenen Granitfläche.

Die Ablaufgenauigkeitswerte entsprechen der Bewegung des Schlittens, gemessen in der Mitte des Schlittens (X/Y) sowie auf der Oberfläche des Schlittens.

Die Kippfehler entsprechen der Mittelposition des Führungssystems: Mitte des Schlittens (X/Y), bei Lxu F60S 28.5mm unterhalb der Schlittenoberfläche (Z).

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{% endcolumn %}

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### Messresultat aus Serienproduktion

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<h4 align="right">Positionsgenauigkeit</h4>
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<figure><img src="/files/RAIrbrsfnQBNnYzflZ0S" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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{% column %}

<table data-header-hidden><thead><tr><th width="293"></th><th></th></tr></thead><tbody><tr><td>Auflösung optisch</td><td>1 µm</td></tr><tr><td>Absolutgenauigkeit</td><td>± 5 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit vorwärts</td><td> 0.6 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit rückwärts</td><td> 0.7 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit bi-direktional</td><td> 1.2 µm</td></tr></tbody></table>
{% endcolumn %}
{% endcolumns %}

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{% column %}

<h4 align="right">Kippfehler</h4>
{% endcolumn %}

{% column %}

{% endcolumn %}
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<figure><img src="/files/erjpno4OcYiZiNCd4wfX" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
{% endcolumn %}

{% column %}

<table data-header-hidden><thead><tr><th width="199"></th><th></th></tr></thead><tbody><tr><td>QX Rollen</td><td>± 6.8 ws</td></tr><tr><td>QY Nicken</td><td>± 7.6 ws</td></tr><tr><td>QZ Gieren</td><td>± 15.2 ws</td></tr></tbody></table>
{% endcolumn %}
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