# Präzisionsdaten

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### Positioniergenauigkeit

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| Messsystem             | Wiederholgenauigkeit Bidirektional |
| ---------------------- | ---------------------------------- |
| 1µm magnetisch absolut | < ± 2.0µm                          |
| 1µm optisch absolut    | < ± 1.5µm                          |
| 100nm optisch absolut  | < ± 0.5µm                          |

| Messsystem             | Längenausdehnung Massstab |
| ---------------------- | ------------------------- |
| 1µm magnetisch absolut | 11.0µm/m/°C               |
| 1µm optisch absolut    | 10.6µm/m/°C               |
| 100nm optisch absolut  | 10.6µm/m/°C               |

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### Position Mapping im XENAX® Xvi 75V8S

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<figure><img src="/files/iIYNBCodjPxIO0Z2cXrz" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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Mit dem Interferometer werden die Positionsfehler über den gesamten Hub tabellarisch erfasst. Anschließend wird die Position-Mapping-Tabelle im XENAX® Xvi Servocontroller hinterlegt. Während des Betriebs korrigiert der Controller die Positionen in Echtzeit gemäß dieser Tabelle; Zwischenpositionen werden dabei interpoliert.

Die Korrektur erfolgt auch bei der Ansteuerung über einen Echtzeitbus, wodurch eine nochmals höhere Absolutgenauigkeit erreicht wird.

**- Grau**, Positionsfehler, gemessen am relevanten Punkt des Aufbaus, Messsystem 1µm Auflösung optisch.

<mark style="color:yellow;">**- Gelb**</mark><mark style="color:yellow;">, Positionsfehler am gleichen Messpunkt nach Korrektur durch Nutzung der Position-Mapping-Funktion</mark>.
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### Mechanische Fehler der Schlittenführung

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Bei den LINAX® Lxs F120 Linearmotor-Achsen kommen robuste 4-reihige Kugelumlauf-Führungen zum Einsatz. Diese Führungen sind wartungsfrei bis 20‘000km oder 5 Jahre. Danach sollten diese nachgeschmiert werden
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<figure><img src="/files/yb0tpDlSplJv2UxEySrP" alt=""><figcaption></figcaption></figure>

Die LINAX® Lxs Linearmotor-Achsen werden standardmässig mit folgenden Toleranzen geliefert.

<table data-header-hidden><thead><tr><th width="136" valign="top">LINAX®</th><th valign="top">Ablaufgenauigkeit horizontal EYX [µm]</th><th valign="top">Ablaufgenauigkeit vertikal EZX  [µm]</th><th valign="top">Kippfehler QX (Rollen) [ws]</th><th valign="top">Kippfehler QY (Nicken) [ws]</th><th valign="top">Kippfehler QZ (Gieren) [ws]</th><th valign="top">Toleranz Bauhöhe [mm</th></tr></thead><tbody><tr><td valign="top">Lxs 80F120</td><td valign="top">±4</td><td valign="top">±2</td><td valign="top">±4</td><td valign="top">±10</td><td valign="top">±5</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 200F120</td><td valign="top">±5</td><td valign="top">±3</td><td valign="top">±5</td><td valign="top">±15</td><td valign="top">±10</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 400F120</td><td valign="top">±10</td><td valign="top">±4</td><td valign="top">±15</td><td valign="top">±30</td><td valign="top">±15</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 520F120</td><td valign="top">±10</td><td valign="top">±4</td><td valign="top">±20</td><td valign="top">±30</td><td valign="top">±20</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 600F120</td><td valign="top">±10</td><td valign="top">±5</td><td valign="top">±20</td><td valign="top">±30</td><td valign="top">±20</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 800F120</td><td valign="top">±10</td><td valign="top">±7</td><td valign="top">±25</td><td valign="top">±35</td><td valign="top">±25</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 1000F120</td><td valign="top">±12</td><td valign="top">±8</td><td valign="top">±30</td><td valign="top">±35</td><td valign="top">±25</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 1200F120</td><td valign="top">±13</td><td valign="top">±9</td><td valign="top">±30</td><td valign="top">±35</td><td valign="top">±25</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 1600F120</td><td valign="top">±16</td><td valign="top">±12</td><td valign="top">±35</td><td valign="top">±40</td><td valign="top">±30</td><td valign="top">±0,1</td></tr><tr><td valign="top">Lxs 2000F120</td><td valign="top">±18</td><td valign="top">±14</td><td valign="top">±40</td><td valign="top">±45</td><td valign="top">±35</td><td valign="top">±0,1</td></tr></tbody></table>

Werte für unbelastete Einzelachsen, gemessen auf einer ebenen Granitfläche.

Die Ablaufgenauigkeitswerte entsprechen der Bewegung des Schlittens, gemessen in der Mitte des Schlittens (X/Y) sowie auf der Oberfläche des Schlittens.

Die Kippfehler entsprechen der Mittelposition des Führungssystems: Mitte des Schlittens (X/Y), bei LINAX Lxs F120 20.9mm unterhalb der Schlittenoberfläche (Z).

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### Messresultat aus Serienproduktion

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<h4 align="right">Positionsgenauigkeit</h4>
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<figure><img src="/files/7QT6pJBTT2OIiOgWo5BK" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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<table data-header-hidden><thead><tr><th width="292"></th><th></th></tr></thead><tbody><tr><td>Auflösung optisch</td><td>1 µm</td></tr><tr><td>Absolutgenauigkeit</td><td>± 2.9 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit vorwärts</td><td> 0.6 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit rückwärts</td><td> 0.7 µm</td></tr><tr><td>Wiederholgenauigkeit bi-direktional</td><td> 1.2 µm</td></tr></tbody></table>
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Positionsgenauigkeit gemessen 50mm oberhalb (Z) des Massstabs

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<h4 align="right">Kippfehler</h4>
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<figure><img src="/files/VPXHSCqLJxX6SdNCUdHf" alt=""><figcaption></figcaption></figure>
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<table data-header-hidden><thead><tr><th width="214"></th><th></th></tr></thead><tbody><tr><td>QX Rollen</td><td>± 2.4 ws</td></tr><tr><td>QY Nicken</td><td>± 13.3 ws</td></tr><tr><td>QZ Gieren</td><td>± 11.1 ws</td></tr></tbody></table>
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